□记者王晓君

本报讯 天津经济技术开发区企业天津绿菱气体有限公司自主研发生产的高纯溴化氢产品日前通过国内知名芯片企业的认证，即将开始批量供应。这标志着绿菱气体成功完成高纯溴化氢国产替代，将为国内半导体终端用户提供可靠的原料支持。

据介绍，高纯溴化氢是替代氟碳类气体的首选产品，主要应用于8寸及12寸芯片制造工艺中的多晶硅刻蚀，是芯片先进制造过程中的核心气体之一。

2023年之前，国内的高纯溴化氢市场长期被进口产品垄断。绿菱气体凭借多年的研发经验，在位于天津经开区南港工业区的新工厂成功实现高纯高纯溴化氢批量生产，年产量可达300吨。目前，绿菱气体自主研发生产的高纯溴化氢已经通过长江存储、中芯国际、华虹宏力、华力微、华力集、青岛芯恩、芯联集成等国内知名芯片企业认证，并实现稳定供应。同时，另有多家国内知名晶圆厂正在对绿菱气体自主研发生产的高纯溴化氢进行验证，通过验证后，预计2024年度开始批量生产供货。